通过测定材料表面受压时的极其细微的动态过程(载荷、位移)来评价材料的表面硬度等力学特性
精确低载荷测量:精度示值的±1%或±19.6 µN
宽载荷范围:0.1~1960 mN
精确压入深度测量:0~10 µm,最小测量单位0.1 nm
多种加载方式试验:压入,加载-卸载,循环,阶梯加载等
压痕图像测量:观测压痕图像、并测量尺寸(可选)
广泛精确适用:真空镀膜、半导体材料镀膜、离子填充层、氧化层及微小部件、玻璃、陶瓷、
光纤、碳纤维、薄膜、塑料、橡胶等材料的表面强度测试
丰富扩展:各式压头、主动/被动吸震台、防风罩、高温装置、侧方观测、MCT功能等
特点:薄膜硬度试验----压痕深度必须小于试验层厚的1/10
丰富的附件:CCD测长附件、各式压头(维氏、努式、三棱锥等)、高温试验装置、专利细小样品台钳、各倍数物镜、被动式/主动式除振台、防风罩、盘装真空吸附装置、旋转平台、硬度基准片等等